搜搜考试网劈尖干涉为什么能检验表面平整度
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/06/29 22:47:32
样板的上下表面反射的光程差（厚度）太大,比起空气薄层来说.所以不至于干涉.还有光的振幅也有关系.
上一块光洁度高的板的下表面与待测面之间的空气层形成薄膜干涉.若待测面光洁度高,在上板观测到的亮线与暗线平行.若待测面有突起,此处对应的光程差小于此点未突起时的光程差,所以这点的光程差与靠近劈尖的尖部某
使用干涉法检测表面平整度是通过等厚干涉条纹的分布反映出来的,该测试的要求是首先要有一个标板（你这里面的b的上表面）,其次需要具备介质隙（你这里面的楔形空气隙）,被检测面是a下表面.如果想利用a和b的上
用“前凹后凸”来判断.从空气薄膜的薄向厚看,如果条纹提前出现,则被测表面是凹下去的.如果条纹延后出现,则被测表面是凸起的.
画出三角锥的刨面图,在下面画出薄膜的刨面图,在竖直方向画上平行光束,就行了!三角锥厚度减小,干涉形成的条纹数较少.
为了光刻的需要从为了让集成电路制成的性能考虑,更加需要晶圆的表面平滑.
不是会凹凸不平（因为厚度相等的地方明暗程度是一样的凹凸不平的话等厚线就不直了）上、下表面在垂直于棱边方向有弯曲上下表面有扭曲
激光照射,反射光和光源分光干涉,看条纹的平整度.或者,往上面浇一层透明的油膜,看干涉条纹.
向左弯曲说明平面下凹向右弯曲说明平面上凸
因为劈尖就是薄膜,同样,牛顿环也是薄膜,至于你提到的平行,的确是那样,推导的时候不仅假设平行,还假设入射光垂直表面,这样做都是为了简化模型,但是结果是对所有的薄膜都适用的.
两束反射光为斜面反射光和工件反射光,加入工件平整的话,以最左端为x轴沿着向右方向相同距离所产生的高度差是一样的,会观察到等间距的平行干涉条纹,若是不平整有凹陷的话条文会提前出现,有凸起的话条文会滞后出
薄膜干涉把金属丝圆环在肥皂液里蘸一下,环上就形成一层肥皂液薄膜．用单色光照射薄膜,薄膜上就产生明暗相间的干涉条纹（图6-4）．产生这种现象是由于照射到膜上的光会从膜的前表面和后表面分别反射回来,形成两
原干涉条纹（左侧对应为尖角位置,实线为亮纹,虚线为暗纹,且假设第二条亮纹对应的垂直位置上物体表面不平整）：｜┊｜┊｜┊（2）检验条纹（物体表面凸起时）｜┊（┊｜┊（3）检验条纹（物体表面凹陷时）｜┊）
（1）半波损失只存在反射光束（注：这里反射指的是入射光从光疏介质入射到光密介质时的反射）,折射光束并不存在半波损失（2）劈尖干涉中相干光束：第一束光来自“空气3”上表面的反射,这束光不存在半波损失；第
不是双缝干涉,而是薄膜干涉.
谁说没有半波损失?当然有啊~
不是吧,只要有反射就会有半波损失,在劈尖的交点处因为只有单面反射会出现半波损失现象,而其他的部分因为干涉的两束光都有半波损失,所以也就显示不出半波损失
薄膜干涉把金属丝圆环在肥皂液里蘸一下,环上就形成一层肥皂液薄膜．用单色光照射薄膜,薄膜上就产生明暗相间的干涉条纹（图6-4）．产生这种现象是由于照射到膜上的光会从膜的前表面和后表面分别反射回来,形成两
若保证被测平面的与测试传感器为距离相对固定,则用超声波或激光测量较为可靠,这与测距原理相同.再问：可是如果是碰到的呢？真的要离开一点不要大于半厘米，但感应的目标很小只有0.2厘米以下。经过速度极快。再
根据薄膜干涉的道理,可以测定平面的平直度．测定的精度很高,甚至几分之一波长那么小的隆起或下陷都可以从条纹的弯曲上检测出来．若使两个很平的玻璃板间有一个很小的角度,就构成一个楔形空气薄膜,用已知波长的单