磁控溅射中加热控温电源怎么用,是镀膜之前加热还是镀完膜之后加热的?

来源：学生作业帮编辑：搜搜考试网作业帮分类：综合作业时间：2024/07/08 05:34:32

磁控溅射中的加热温控电源有两种用途：
真空室内部除气烘烤
首次使用或长时间未使用,以及真空室开门时间过长--比如几天.在进行镀膜前,为了有很好的本底真空,应该对真空室进行烘烤除气.让真空室内的真空达到较好水平
经过长时间镀膜后,本底真空不能达到要求,可以对真空室进行烘烤,除气,提高本底真空.
其他需要内部烘烤的情况
在镀膜前对基片进行预热
基片放气较大,为了保证镀膜质量,先对基片进行预热除气
基片的镀膜需要一个较高的起始温度,可先对基片进行加热,达到温度后,开始镀膜.镀膜过程中,一般不需要加热.
有的膜需要就地退火,在镀膜完成后.加热到需要的温度后按工艺保温和降温.

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