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磁控溅射真空抽不下去,抽到200Pa就抽不下去了,器件检查没有漏气,

来源：学生作业帮 编辑：搜搜考试网作业帮 分类：综合作业 时间：2024/08/05 07:15:03
磁控溅射真空抽不下去,抽到200Pa就抽不下去了,器件检查没有漏气,
磁控溅射真空抽不下去,抽到200Pa就抽不下去了,器件检查没有漏气,
200Pa维持的漏气率一般用什么样的方法能检验出来?一般都检验不出来.
200Pa是粗真空阶段,一般是机械泵抽真空的范围,如果没有罗茨泵的话,机械泵油封如果没有问题的话,一般不会出现此类情况.所以,应该还是漏气的原因.
用排除方法吧,首先换一台机械泵,如果好了就是泵有问题了,
不管用的话就用逐级检测,依次泵口、前级阀、预抽、高阀,一路检验过去.看看到底是怎么回事.很容易就找到原因了,如果都没有问题,就是镀膜机光栅或者镀膜室、转架、靶头等等的问题了.这类问题,开关高阀就能知道究竟有没有问题.还不行就继续追问,我明天再回答你.
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