超声波显微镜是用什么来进行观察的?
来源:学生作业帮 编辑:搜搜考试网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/08/17 10:49:04
超声波显微镜是用什么来进行观察的?
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超声波显微镜,全称应该是:超声波扫描显微镜,英文Scanning Acoustic Microscope,简称C-SAM,是一种在半导体业界、材料研究领域,广泛使用的一种高分辨无损检测设备.
顾名思义,超声显微镜,当然就是以超声波为主要的探测手段,超声探头频率从5M~1000M不等,应对不同材料、不同分辨率、不同的穿透特性来决定!它的主要原理是:探头发出一定频率的超声波,射到被测物体上,在物体的内部形成反射,接收探头接收的到超声波.当扫描机构作循环往复,接收探头就会接收到整个物体的信号,再通过工控机形成图像!
世界上最著名的超声显微镜企业是德国的KSI公司,它的V系列,如V400、V300等,堪称业界的经典和传奇;其次是美国的Sonoscan,它的Fastline系列,非常有创新力,能实现多工位扫描;德国还有一家叫PVATEPLA,半导体业界比较出名,它对晶圆、晶锭等测量有独到的技术,特别是它在MEMS、晶圆键合等领域的应用.还有一家是Sonix,它也是很多美国企业采用的.
国内有一家知名网站,CSAM世界网,可以看下.
顾名思义,超声显微镜,当然就是以超声波为主要的探测手段,超声探头频率从5M~1000M不等,应对不同材料、不同分辨率、不同的穿透特性来决定!它的主要原理是:探头发出一定频率的超声波,射到被测物体上,在物体的内部形成反射,接收探头接收的到超声波.当扫描机构作循环往复,接收探头就会接收到整个物体的信号,再通过工控机形成图像!
世界上最著名的超声显微镜企业是德国的KSI公司,它的V系列,如V400、V300等,堪称业界的经典和传奇;其次是美国的Sonoscan,它的Fastline系列,非常有创新力,能实现多工位扫描;德国还有一家叫PVATEPLA,半导体业界比较出名,它对晶圆、晶锭等测量有独到的技术,特别是它在MEMS、晶圆键合等领域的应用.还有一家是Sonix,它也是很多美国企业采用的.
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