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扩散泵开始抽高真空后真空度上升很慢

来源:学生作业帮 编辑:搜搜考试网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/07/15 15:34:23
扩散泵开始抽高真空后真空度上升很慢
真空室是1.5立方米,配600扩散泵,原来抽到0.05pa只要3分钟,现在需要20分钟,不是突然变成这样的,是非常缓慢的一个过程.真空度在2pa以下时再上升就非常慢了!
求教了
扩散泵开始抽高真空后真空度上升很慢
首先检查真空室的密封
2,关闭所有阀门,测试泵本身抽真空能力
3 更换真空泵油
4 更换密封垫