什么是驻波效应

来源：学生作业帮编辑：搜搜考试网作业帮分类：综合作业时间：2024/08/05 20:54:46

什么是驻波效应

微电子制造工艺中的一种现象.
在微细图形光刻过程中,一般曝光光源为单色或窄带光源,在由基片、氧化物层和抗蚀剂等组成的多层膜系情况下,由于膜系各层折射率不同,曝光时入射光将在各层膜的界面处发生多次反射,在光致抗蚀剂中形成驻波.

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