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真空镀膜机的,粗抽阀,前级阀,精抽阀,它们的作用是什么,求行家解答,

来源:学生作业帮 编辑:搜搜考试网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/07/04 04:10:03
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机械抽取真空的过程相当于接力跑,初期从大气状态开始一般使用旋片泵、滑阀泵等,当达到初级泵的极限后就要更换为高真空泵,如罗茨泵、分子泵、扩散泵、冷泵等,在泵与泵之间用于隔断或转换的就是你说的那些阀门.