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电子厂 多晶硅的清洗 硝酸和氢氟酸的比例是多少?

来源：学生作业帮 编辑：搜搜考试网作业帮 分类：化学作业 时间：2024/07/14 13:45:42
电子厂 多晶硅的清洗 硝酸和氢氟酸的比例是多少?
工种叫做洗料,就是把清洗多晶硅,目的就是清洗之后让原料看起来发亮,硝酸和氢氟酸的比例是多少.听大家都说是10比1,但是是体积比还是物质的量比?洗完第一批之后还要加入硝酸和氢氟酸,加入的比例又是多少?知道的说下哦..
电子厂 多晶硅的清洗 硝酸和氢氟酸的比例是多少?
硝酸与氢氟酸体积比10:1到2:1之间都可以,硝酸量多能增大腐蚀速度,所以一般用10:1.由于反应中硝酸与氢氟酸的体积比是4：18,所以每次添加腐蚀液可可较原始配方,减小硝酸与氢氟酸的比例,例如5:1,4:1,3:1,均可,看其腐蚀速度而定
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